高頻壓力傳感器一般是利用半導(dǎo)體硅極高的楊氏彈性模量和優(yōu)良的力學(xué)特性制成，使傳感器具有很高的固有頻率，結(jié)合內(nèi)外部結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，減小了頻率損耗。從而獲得很高的響應(yīng)頻率和上升時(shí)間，是測(cè)量高頻動(dòng)態(tài)壓力的理想產(chǎn)品。

在選擇高頻壓力傳感器的時(shí)候我們要考慮它的綜合精度，而壓力傳感器的精度受哪些方面的影響呢?其實(shí)造成傳感器誤差的因素有很多，下面我們注意說四個(gè)無法避免的誤差，這是傳感器的初始誤差。

首先的偏移量誤差：由于高頻壓力傳感器在整個(gè)壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定，因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。

其次是靈敏度誤差：產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值，那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過程的變化。

第三是線性誤差：這是一個(gè)對(duì)高頻壓力傳感器初始誤差影響較小的因素，該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性，但對(duì)于帶放大器的傳感器，還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線，也可以是凸形曲線稱重傳感器。

最后是滯后誤差：在大多數(shù)情形中，壓力傳感器的滯后誤差完全可以忽略不計(jì)，因?yàn)楣杵哂泻芨叩臋C(jī)械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。

高頻壓力傳感器的這個(gè)四個(gè)誤差是無法避免的，我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設(shè)備，利用最新技術(shù)來降低這些誤差，還可以在出廠的時(shí)候進(jìn)行一定的誤差校準(zhǔn)，盡最大的可能來降低誤差以滿足客戶的需要。